Некоторые вопросы применения голографии в фотолитографических процессах / Н. М. Ионина [и др.]
| Автор: | Ионина, Н. М. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология и организация производства ; 1971, вып. 9 |
Загрузка...