Техника изготовления фотошаблонов - трафаретов для производства кремниевых интегральных схем / Б. В. Малин
| Автор: | Малин, Б. В. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1971, вып. 4 |
Загрузка...