Развитие метода катодного распыления / В. Н. Гаштольд
| Автор: | Гаштольд, В. Н. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1970 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1970, вып. 2 |
Загрузка...