Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем / Л. Ф. Ронская, Е. А. Бродянский, В. Д. Скубриев
| Автор: | Ронская, Л. Ф. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Бродянский, Е. А., Скубриев, В. Д. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1971, вып. 3 |
Загрузка...