Основы фотолитографии в производстве интегральных схем / Б. В. Малин, Т. И. Эрез
| Автор: | Малин, Б. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Эрез, Т. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1973, вып. 2 |
Загрузка...