Получение окисных пленок методом реактивного плазменного распыления / А. Я. Патракова
| Автор: | Патракова, А. Я. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1969 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Технология и организация производства ; 1969, вып. 39 |
Загрузка...