Особенности технологии формирования и электрофизические свойства изолирующих слоев в микросхемах памяти с поликремниевым затвором: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / [Г. В. Перов, М. А. Ульев]
| Автор: | Перов, Г. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Ульев, М. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1984, вып. 4 |
Загрузка...