Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1985 гг.) / Р. Б. Навицкас
| Автор: | Навицкас, Р. Б. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1986 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1986, вып. 1 |
Загрузка...