Формирование элементов мегабитовых ДОЗУ. Ч. 3. Подготовка и влияние маскирующих покрытий: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1989 гг.) / В. Ю. Киреев, В. М. Фролов
| Автор: | Киреев, В. Ю. (1949— ) |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Фролов, В. М., Данилин, Б. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1990 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1990, вып. 1 |
Загрузка...