Генерация аэрозолей оборудование микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1961―1988 гг.) / В. М. Редин [и др.
| Автор: | Редин, В. М. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Жукова, Т. В. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1989 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1989, вып. 2 |
Загрузка...