Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1982 гг.) / И. С. Суровцев [и др.]
| Автор: | Суровцев, И. С. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1983 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1983, вып. 3 |
Загрузка...