Технологические основы получения и электрические характеристики тонких нитрированных слоев в элементах интегральных схем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1971―1987 гг.) / Г. В. Перов, Н. Д. Иванцова, Б. И. Сысоев
| Автор: | Перов, Г. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Иванцова, Н. Д., Сысоев, Б. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1987, вып. 6 |
Загрузка...