Формирование элементов мегабитовых ДОЗУ. Ч. 1. Травление силицидов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980―1986 гг.) / Г. В. Васильев, Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
| Автор: | Васильев, Г. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Данилин, Б. С., Киреев, В. Ю., Гергель, В. А. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1987, вып. 2 |
Загрузка...