Получение, свойства и применение слоев борофосфоросиликатного стекла в технологии интегральных микросхем: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1982―1987 гг.) / Т. Г. Духанова, В. Ю. Васильев, Ю. И. Веретение
| Автор: | Духанова, Т. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Васильев, В. Ю., Веретенин, Ю. И. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1988 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1988, вып. 4 |
Загрузка...