Реактивное ионное травление: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1983 гг.) / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев, Д. А. Назаров
| Автор: | Данилин, Б. С. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Киреев, В. Ю., Назаров, Д. А., Колесник, О. Л. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1984 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Микроэлектроника ; 1984, вып. 1 |
Загрузка...