Вакуумные загрузочные шлюзы в оборудовании электронной промышленности / И. Г. Блинов, В. А. Пупко, В. С. Черепащук
| Автор: | Блинов, И. Г. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Пупко, В. А., Черепащук, В. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника", 1973 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1973, вып. 7 |
Загрузка...