Изготовление фотошаблонов для микроэлектроники / составитель Р. А. Карпович

Другие авторы/ответственные:	Карпович, Р. А., Тарашкевич, А. П.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1973
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Серия: Технология, организация производства и оборудование ; вып. 8 (57)