Защита полупроводниковых кристаллов нитридными и оксинитридными пленками / составители: А. П. Казаков, Я. П. Рокицкая

Другие авторы/ответственные:	Казаков, А. П., Рокицкая, Я. П., Соркина, А. Б.
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1971
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Серия: Технология и организация производства ; вып. 3а (178)