Получение и применение нитрида кремния в производстве полупроводниковых приборов: (составлен по материалам открытой зарубежной печати) / И. В. Кокорева
| Автор: | Кокорева, И. В. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Неделина, А. Т. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1968 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1968, вып. 2 |
Загрузка...