Шлюзовые системы вакуумных напылительных установок и вопросы повышения производительности / Г. А. Алексеев, С. Г. Аракелян, Г. С. Трошина
| Автор: | Алексеев, Г. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Аракелян, С. Г., Трошина, Г. С. |
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1969 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
Серия: Микроэлектроника ; 1969, вып. 78 |
Загрузка...