/vufind
Пропуск в контексте
Электронный каталог
Национальной библиотеки
Беларуси
Toggle navigation
Вход
Язык
Русский
Белорусский
English
Deutsch
Español
Français
中文(繁體)
Polski
Все поля
Заглавие
Автор/Создатель
Предмет
ISBN/ISSN/...
Найти
Расширенный поиск
Все поля
Заглавие
Автор/Создатель
Предмет
ISBN/ISSN/...
Найти
Расширенный поиск
Результаты поиска
Коллекции
Т. 1
Структура документа
« Вернуться к результатам поиска
Отправить на Email
Запись для экспорта
Экспорт в RefWorks
Экспорт в EndNote
Экспорт в MARC
Экспорт в MARCXML
Экспорт в BibTeX
Добавить в Избранное
Печать
Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии : [монография] : в 3 т. / [О. Ю. Наливайко и др.]. Т. 1
Сохранено в:
Вид документа:
Книги
Язык:
Русский
Предмет:
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
МОНОКРИСТАЛЛЫ
ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ
КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ
МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
ЭПИТАКСИЯ (физ.)
КРЕМНИЙ НА ИЗОЛЯТОРЕ-ТЕХНОЛОГИЯ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ISBN:
978-985-6845-44-7
УДК:
621.382.2/.3-027.3
621.382.049.77-027.3
548.55
621.315.592:546.28:621.793/.795
ГРНТИ:
47.13.11
47.09.29
31.15.17
55.22
Примечания:
Библиография в конце глав
500 экз.
Местонахождение
Тома/выпуски/составные части
Структура документа
BELMARC-запись
Загрузка...
Т. 1
Т.2.
Т. 3
×
Загрузка...