Результаты поиска

Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.13.07 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова. - СПб., 1995. - 16с.