Результаты поиска

Технологическое оборудование для производства гибридных интегральных микроузлов / В. Д. Гимпельсон. - М. : Машиностроение, 1976. - 60 с.

Физические основы проектирования оборудования электронной промышленности: Терм. оборуд. [Учеб. пособие]. - М. : МИЭМ, 1981. - 86 с.

Вакуумно-термическое оборудование в производстве изделий электронной техники / А. И. Пипко, Ю. А. Пипко, В. Я. Плисковский. - М. : Машиностроение, 1986. - 55 с.

Точное машиностроение для микроэлектроники. - М. : Радио и связь, 1986. - 86, [2] с. - (Массовая б-ка инженера «Электроника»)