Результаты поиска

Термопрочность тугоплавких материалов, полученных газофазным осаждением. - Л. : Изд-во ЛГУ, 1979. - 158 с.

Газофазная металлургия тугоплавких соединений. - М. : Металлургия, 1987. - 206, [1] с.

Химия в микроэлектронике: (Хим. осаждение из газовой фазы). - М. : Знание, 1988. - 45, [2] с. - (Новое в жизни, науке, технике. Химия ; 4/1988)