Результаты поиска

Сборник научных трудов «Активируемые процессы технологии микроэлектроники» / Моск. ин-т электрон. техники. - М. : МИЭТ, 1980. - 123 с.

Сборник научных трудов «Конструирование и технология микроэлектронной аппаратуры» / Моск. ин-т электрон. техники. - М. : МИЭТ, 1981. - 182 с.

Сборник научных трудов «Физические явления в технологии микроэлектроники» / Моск. ин-т электрон. техники. - М. : МИЭТ, 1981. - 103 с.

Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы в технологии микроминиатюрных элементов: Сб. докл. постоянно действующего семинара «Соврем. технология пр-ва приборов, средств автоматизации и систем управления» / [Редкол.: А. Н. Гаврилов (пред.) и др.]. - М. : [Б. и.], 1981. - 72 с.

Новые технологические процессы и материалы : [материалы трудов] / под общей редакцией А. Н. Гаврилова. — Москва : Машиностроение, 1979. — 157, [1] с. — (Труды Постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления" ; вып. 2)