Результаты поиска

Получение эпитаксиальных пленок кремния методом пиролиза силана / [И. В. Гранков, В. М. Гуревич, Л. Н. Демин, Ю. В. Юшков]. - М. : Цветметинформация, 1976. - 52 с. - (Обзорная информация: Серия «Производство редких металлов»)