Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : [учебное пособие для вузов] : в 2 т. / [под общей редакцией Ю. Н. Коркишко]. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
| Вид документа: | Книги |
|---|---|
| Опубликовано: | 2010 |
| Физические характеристики: |
392 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
Загрузка...