Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учебное пособие : для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника". Ч. 1 / А. А. Раскин, В. К. Прокофьева

Вид документа: Книги
Физические характеристики: 163, [1] с. : ил., табл., схемы
Язык: Русский
Предмет: