Технологические проблемы микроэлектроники: [сборник статей] / ответственные редакторы: Т. М. Махвиладзе, А. В. Раков
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1988 |
| Физические характеристики: |
169, [3] с. : ил. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института общей физики
; т. 14 |
| Предмет: |
Загрузка...