Спецматериалы для микроэлектроники : [сборник статей / научный редактор Е. Б. Соколов]. — Москва : Московский институт электронной техники, 1978. — 245 с. — (Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники ; вып. 38) - Соколов, Е. Б. (род. 1933) (Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники, 1978)