12th Symposium on electron, ion, and laser beam technology: [proceedings / editor: Edward D. Wolf]
Вид документа: | Периодические издания |
---|---|
Автор: | Symposium on electron, ion, and laser beam technology (12; 1973; Cambridge, Mass.) |
Опубликовано: | [S. l. : s. n., 1973] |
Физические характеристики: |
С. [18], 909―1155 : іл. ; 28 см
|
Язык: | Английский |
Серия: |
Journal of vacuum science & technology
; vol. 10, № 6 |
Загрузка...