Технология получения эпитаксиальных слоев соединений АIII BV методом пиролиза / [составители: П. С. Бугаенко, Т. С. Денисова
| Вид документа: | Периодические издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1983 |
| Физические характеристики: |
53, [1] с. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Материалы ; вып. 1 (351) |
Загрузка...