Структура документа: Кн. 2

Вид документа:	Книги
Физические характеристики:	С. 697—1183 : ил., табл., схемы
Язык:	Русский
Предмет:	РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА КОСМИЧЕСКИЕ АППАРАТЫ БОРТОВЫЕ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА МИКРОСХЕМОТЕХНИКА ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА МОП-СТРУКТУРЫ СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ ПРОЕКТИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА КОРПУСИРОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ МНОГОСЛОЙНЫЕ МАТЕРИАЛЫ (техн.) ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ МЕЛКОСЕРИЙНОЕ ПРОИЗВОДСТВО

УДК:	629.78.052:621.38 621.382.049.77-025.13 621.382.049.77-027.3
ГРНТИ:	55.49.51 47.33 47.45 47.14.07 47.13.11
Примечания:	Библиография в конце глав 1500 экз.