Эпитаксия: [сборник статей / под редакцией Ю. Д. Чистякова и А. Ю. Малинина]
| Другие авторы/ответственные: | Чистяков, Ю. Д., Малинин, А. Ю. |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники, 1969 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Физико-химическая серия ; вып. 4 |
| Предмет: |
Загрузка...