Физико-химические методы контроля и технологические способы обработки материалов в микроэлектронике: материалы Первого симпозиума (11―13 ноября 1969 г.) / научный редактор С. А. Кутолин
| Другие авторы/ответственные: | Кутолин, С. А. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1969 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды конференций по электронной технике
; вып. 2 |
| Предмет: |
Загрузка...