Специальное технологическое оборудование микроэлектроники: материалы Межвузовской научно-методической конференции по проблемам микроэлектроники (27 января ― 2 февраля 1970 г.)
| Другие авторы/ответственные: | Межвузовская научно-методическая конференция по проблемам микроэлектроники (1970; Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника", 1971 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды конференций по электронной технике
; вып. 3 (29) |
| Предмет: |
Загрузка...