Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники: материалы конференции "Специальное технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники (23―25 ноября 1971 г.): [сборник статей / ответственный редактор И. Г. Блинов]
| Другие авторы/ответственные: | Блинов, И. Г. |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1972 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тезисы докладов и рекомендации конференций, совещаний и семинаров
Микроэлектроника ; вып. 1 (9) |
Загрузка...