Проблемы литографии в микроэлектронике: [сборник статей] / ответственный редактор Т. М. Махвиладзе
| Другие авторы/ответственные: | Махвиладзе, Т. М., Институт общей физики имени А. М. Прохорова (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1987 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института общей физики
; т. 8 |
| Предмет: |
Загрузка...