Основы технологии тонких и толстых пленок: Учеб. пособие : [По спец.] 2303 / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича

Автор:	Мельниченко, А. Т.
Вид документа:	Книги
Опубликовано:	Л. : ЛЭИС, 1990-
Язык:	Русский