Измерение толщины тонких пленок методом рентгеноструктурного анализа / К. А. Кузнецов
| Автор: | Кузнецов, К. А. |
|---|---|
| Другие авторы/ответственные: | Игошина, Э. О., Научно-исследовательский институт технологии и организации производства (Москва) |
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : НИАТ, 1980 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды Института
; № 395 |
Загрузка...