Значок книги

Процессы и аппараты для получения полупроводниковых материалов : Курс лекций. [В 4-х ч.] / Моск. ин-т стали и сплавов. Кафедра физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов. Ч. 2 : Вакуумная техника

Вид документа: Книги
Опубликовано: 1974
Язык: Русский