Маршрутная технология производства кристаллов СБИС : методическое пособие по технологии микроэлектроники для специальности "Конструирование и технология радиоэлектронных средств", "Электронно-оптическое аппаратостроение" / В. В. Шаталов [и др.]. Ч. 3