Технология получения полупроводниковых приборов из карбида кремния: (обзор литературы) / В. М. Гуревич

Автор: Гуревич, В. М.
Другие авторы/ответственные: Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (Москва)
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Отдел научно-технической информации, 1962
Язык: Русский
Серия: Информация ; 10 (21)
Предмет: