Технология получения полупроводниковых приборов из карбида кремния: (обзор литературы) / В. М. Гуревич
Автор: | Гуревич, В. М. |
---|---|
Другие авторы/ответственные: | Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (Москва) |
Вид документа: | Периодические издания |
Опубликовано: | Москва : Отдел научно-технической информации, 1962 |
Язык: | Русский |
Серия: |
Информация
; 10 (21) |
Предмет: |
Загрузка...