Проблемы субмикронной технологии: [сборник статей] / ответственный редактор А. А. Орликовский
| Другие авторы/ответственные: | Орликовский, А. А. (1938—2016), Физико-технологический институт (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Наука, 1993 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
; т. 6 |
Загрузка...