Структура тонкопленочных наноматериалов, применяемых в технологиях микроэлектроники / М. И. Маркевич [и др.] // Современные методы и технологии создания и обработки материалов : сборник научных трудов : в 2 кн. / Государственное научное учреждение "Физико-технический институт Национальной академии наук Беларуси". — Минск, 2021. — Кн. 1 : Новые технологии и материалы. — С 188―207
| Другие авторы/ответственные: | Маркевич, М. И. (род. 1956), Чапланов, А. М. (род. 1940), Обухов, В. Е., Зеленин, В. А. (род. 1941) |
|---|---|
| Вид документа: | Статьи |
| Язык: | Русский Английский |
| Предмет: |
Загрузка...