Обработка поверхности полупроводников / составитель О. В. Ветрова
| Другие авторы/ответственные: | Ветрова, О. В., Быкова, В. П., СССР. Министерство электронной промышленности, "Электроника", институт (Москва) |
|---|---|
| Вид документа: | Периодические издания |
| Опубликовано: | Москва : Электроника, 1968 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Тематические указатели литературы
Серия: Полупроводниковые приборы ; вып. 48 |
Загрузка...