Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов: (окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия и т. д.): отечественная и иностранная литература за 1968―1969 г. II кв. / составитель Ижмякова Л. Ф.

Другие авторы/ответственные:	Ижмякова, Л. Ф., Щеглова, В. В., СССР. Министерство электронной промышленности, "Электроника", институт (Москва)
Вид документа:	Периодические издания
Опубликовано:	Москва : Электроника, 1969
Язык:	Русский
Серия:	Тематические указатели литературы Серия: Полупроводниковые приборы ; вып. 46 (93)