Эпитаксия: (приложение) [с иллюстрациями]
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники, 1970 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Физико-химическая серия ; приложение к вып. 4 |
| Предмет: |
Загрузка...