Технология спецматериалов интегральных схем: [сборник статей / ответственный редактор Е. Б. Соколов]
| Другие авторы/ответственные: | Соколов, Е. Б. (род. 1933) |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники, 1976 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
; вып. 24 |
Загрузка...