Оборудование, приборы и измерительные устройства микроэлектроники: [сборник статей / научный редактор Е. К. Ковшиков]
| Другие авторы/ответственные: | Ковшиков, Е. К. |
|---|---|
| Вид документа: | Продолжающиеся издания |
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники, 1978 |
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
; вып. 39 |
Загрузка...